Mikrolitográfia

A rövid ívű higanygőzlámpák (HBO-nak is rövidítik őket) 200 W és 8 000 W közötti áramfogyasztásukkal elsődlegesen a mikrochipek, folyadékkristályos képernyők (LCD-k) és nyomtatott áramköri lapok (NYÁK-lapok) gyártásához használják őket fényforrásként. Az OSRAM, mint lámpagyártó, és a készülékgyártók vagy a helyi felhasználók közötti stabil együttműködés keretében egy sor rövid ívű higanygőzlámpa-változat került kifejlesztésre, amelyek gyakorlatilag bármelyik alkalmazásra a megfelelő sugárzást állítják elő.

HBO lámpák integrált áramkörök UV expozíciójához:

- Az emissziós spektrum „i-sorát” használja (365 nm) vagy mély UV emissziót (254 nm).

- Hosszú élettartamok a legalacsonyabb degradációval

HBO lámpák síkképernyők és nyomtatott áramköri lapok UV expozíciójához:

- A legerősebb emisszió a 350 nm – 450 nm tartományban van

- Állandó teljesítményű és/vagy intenzitású üzemre tervezték.

HBO lámpák csomagoláshoz, mikro-elektromechanikai rendszerekhez, LED-es litográfiához:

- Maszkigazításhoz, korszerű csomagoláshoz, szilíciumostyák vizsgálatához

Bővebben

Bővebben